在一般材料的激光切割过程中，由于切割速度较快，零件产生的热变形很小，切割零件的尺寸精度主要取决于激光切割机的工作台的机械精度和控制精度。在脉冲激光切割加工中，采用高精度的切割装置和控制技术，尺寸精度可以到um级别。

激光切割的质量评价，国际上至今还没有一个统一的标准。至今我国也尚无有关激光切割质量的标准，检测激光切割质量的主要依据是JIS和WES（焊接规格）。在CEN（欧洲标准化机构）和ISO（国际标准化机构）中有关于激光切割的标准化问题。以EU为主提供的有关ISO9000系列质量保证方法，对激光切割标准和标准试样规定等进行了研究，其内容包括：切割质量等级划分、设定样品和加工样品的标准、光学系统、价格样品的机种及光束特性等。